東北大學(xué)修復(fù)硅晶圓加工變質(zhì)層獲得成功
日本東北大學(xué)大學(xué)院工學(xué)研究科納米力學(xué)專業(yè)閻紀(jì)旺準(zhǔn)教授及廚川常元教授的研究小組利用納秒脈沖激光照射，成功完成了單晶硅加工變質(zhì)層的完全修復(fù)。這是一種通過使用高頻納秒脈沖激光，同時完全消滅單晶硅加工物表面的非結(jié)晶層的單晶化和位錯的方法。該方法有以下四個特征。（1）由于絲毫不剔除材料，底板的形狀精度可維持原樣；（2）可使用高頻納秒脈沖激光器在極短時間內(nèi)修復(fù)；（3）完全不排放化學(xué)廢液，是對環(huán)境無負(fù)面影響的清潔技術(shù)；（4）能夠用于形狀復(fù)雜的工件，進行局部選擇性修復(fù)和表面構(gòu)成控制。
該方法可以使生成無缺陷的單結(jié)晶表面成為可能，有望在半導(dǎo)體底板及光學(xué)元件領(lǐng)域，實現(xiàn)新的制造工藝。是東北大學(xué)機械系研究的文部科學(xué)省21世紀(jì)COE項目之一——“納米技術(shù)基礎(chǔ)機械科學(xué)新領(lǐng)域”（項目負(fù)責(zé)人：莊子哲雄教授）的綜合研究項目之一，部分研究得到了新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機構(gòu)（NEDO）產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究資助事業(yè)的幫助。研究成果的一部分已在國際學(xué)術(shù)雜志《半導(dǎo)體科學(xué)與技術(shù)（SemiconductorScienceandTechnology）》上刊登。
該方法可以使生成無缺陷的單結(jié)晶表面成為可能，有望在半導(dǎo)體底板及光學(xué)元件領(lǐng)域，實現(xiàn)新的制造工藝。是東北大學(xué)機械系研究的文部科學(xué)省21世紀(jì)COE項目之一——“納米技術(shù)基礎(chǔ)機械科學(xué)新領(lǐng)域”（項目負(fù)責(zé)人：莊子哲雄教授）的綜合研究項目之一，部分研究得到了新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機構(gòu)（NEDO）產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究資助事業(yè)的幫助。研究成果的一部分已在國際學(xué)術(shù)雜志《半導(dǎo)體科學(xué)與技術(shù)（SemiconductorScienceandTechnology）》上刊登。
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