山東大學微電子器件及可靠性研究取得突破進展
近日，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的科研團隊在“微電子器件及其可靠性”研究方向取得突破性進展，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”。
該成果的選題來源于困擾微電子學領域的一個國際性科技難題，即用電學方法測量微電子器件芯片溫度分布不均勻性的難題。國際電工委員會的技術標準IEC 60747-7和美國軍標MIL-STD-883E是國際上普遍采用的關于測量微電子器件結(jié)溫的兩大系列標準，英國的BS IEC 60747-7、中華人民共和國國家標準GB/T 4587-94 和“中華人民共和國國家軍用標準 微電子器件試驗方法和程序”GJB548A－96是國際上采用這兩大系列標準的典型代表。這五個標準的計算公式都把不均勻的結(jié)溫分布不得不當作均勻來處理才能計算出結(jié)溫，IEC 60747-7還特別聲明“請注意，此測量方法作了這樣的假設：當晶體管耗散功率時，結(jié)溫分布是均勻的，并且和校準晶體管時的溫度相同。這個假設可能是不成立的?！贬槍@個難題，對于被密封在體內(nèi)看不見、摸不著的半導體芯片，苗慶海教授以發(fā)現(xiàn)的“小電流過趨熱效應”為突破口，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”，較圓滿地解決了這一國際性難題。
該項研究成果還從理論和實驗兩方面證明了國際電工委員會標準IEC 60747-7中的原理性錯誤，并就這一發(fā)現(xiàn)致電國際電工委員會，國際電工委員會分管半導體分立器件的主席Annie Delort女士回信表示接納建議，感謝苗慶海教授等人對IEC 60747-7的貢獻。
該項研究先后得到了國家自然科學基金等多次立項資助，有關成果已通過相關部門鑒定，并聯(lián)合中國電子科技集團第十三研究所共同設計生產(chǎn)出了有關半導體器件可靠性分析儀。
目前，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的“微電子器件及其可靠性研究”課題組現(xiàn)正在深度和廣度上進一步研究“微電子器件熱譜分析方法”，同時向?qū)嵱没?、工業(yè)化方向邁步，并爭取使其納入國內(nèi)和國際標準行列。
該成果的選題來源于困擾微電子學領域的一個國際性科技難題，即用電學方法測量微電子器件芯片溫度分布不均勻性的難題。國際電工委員會的技術標準IEC 60747-7和美國軍標MIL-STD-883E是國際上普遍采用的關于測量微電子器件結(jié)溫的兩大系列標準，英國的BS IEC 60747-7、中華人民共和國國家標準GB/T 4587-94 和“中華人民共和國國家軍用標準 微電子器件試驗方法和程序”GJB548A－96是國際上采用這兩大系列標準的典型代表。這五個標準的計算公式都把不均勻的結(jié)溫分布不得不當作均勻來處理才能計算出結(jié)溫，IEC 60747-7還特別聲明“請注意，此測量方法作了這樣的假設：當晶體管耗散功率時，結(jié)溫分布是均勻的，并且和校準晶體管時的溫度相同。這個假設可能是不成立的?！贬槍@個難題，對于被密封在體內(nèi)看不見、摸不著的半導體芯片，苗慶海教授以發(fā)現(xiàn)的“小電流過趨熱效應”為突破口，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”，較圓滿地解決了這一國際性難題。
該項研究成果還從理論和實驗兩方面證明了國際電工委員會標準IEC 60747-7中的原理性錯誤，并就這一發(fā)現(xiàn)致電國際電工委員會，國際電工委員會分管半導體分立器件的主席Annie Delort女士回信表示接納建議，感謝苗慶海教授等人對IEC 60747-7的貢獻。
該項研究先后得到了國家自然科學基金等多次立項資助，有關成果已通過相關部門鑒定，并聯(lián)合中國電子科技集團第十三研究所共同設計生產(chǎn)出了有關半導體器件可靠性分析儀。
目前，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的“微電子器件及其可靠性研究”課題組現(xiàn)正在深度和廣度上進一步研究“微電子器件熱譜分析方法”，同時向?qū)嵱没?、工業(yè)化方向邁步，并爭取使其納入國內(nèi)和國際標準行列。
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