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電子專用設(shè)備和儀器“十一五”專項(xiàng)規(guī)劃?。?/h1>
  三、“十一五”發(fā)展思路和目標(biāo)
 ?。ㄒ唬┌l(fā)展思路
  加大國(guó)際合作,加強(qiáng)共性基礎(chǔ)技術(shù)研究,突破關(guān)鍵技術(shù),縮小電子專用設(shè)備和儀器、工模具與國(guó)外先進(jìn)水平的差距。以數(shù)字電視和新一代移動(dòng)通信等產(chǎn)業(yè)發(fā)展為契機(jī),推動(dòng)產(chǎn)品工藝與設(shè)備儀器開發(fā)相結(jié)合,促進(jìn)產(chǎn)用結(jié)合。加強(qiáng)政策引導(dǎo),加大政府投入,大力發(fā)展集成電路、平板顯示器件等重大技術(shù)裝備,鼓勵(lì)開發(fā)量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、表面貼裝和支持無鉛工藝整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備,加大高性能測(cè)試儀器的研發(fā)力度。
 ?。ǘ┌l(fā)展目標(biāo)
“十一五”期間,我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)保持年均25%的增長(zhǎng)速度,電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)保持年均20%的增長(zhǎng)速度,到2010年我國(guó)電子專用設(shè)備儀器國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率力爭(zhēng)超過20%。到2010年,部分12 英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線使用,8英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備和平板顯示器件后段設(shè)備基本立足國(guó)內(nèi),部分中低端元器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平接近國(guó)際先進(jìn)水平,初步建立以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)初步掌握部分核心技術(shù),部分滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。
  四、發(fā)展重點(diǎn)
 ?。ㄒ唬╇娮訉S迷O(shè)備
  半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備。重點(diǎn)發(fā)展8-12英寸集成電路關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備,包括光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、平坦化設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、摻雜設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等芯片制造設(shè)備,鍵合設(shè)備、劃片設(shè)備、剪薄設(shè)備、裝片設(shè)備等封裝設(shè)備和專用模具,以及檢測(cè)設(shè)備和材料制備設(shè)備等。積極跟蹤化合物半導(dǎo)體技術(shù),加快化合物半導(dǎo)體(GaAs、InP、GaN、SiC)制造設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。
  新型顯示器件專用設(shè)備。力爭(zhēng)形成TFT-LCD移載、清洗等設(shè)備的配套能力;積極開展面板生產(chǎn)線陣列和成盒等前道工藝設(shè)備的研究開發(fā),重點(diǎn)提高濕/干法刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)等研制水平。加強(qiáng)高亮度LED關(guān)鍵制造設(shè)備、PDP關(guān)鍵制造設(shè)備和OLED關(guān)鍵制造設(shè)備及測(cè)試儀器的開發(fā)生產(chǎn)。
  電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備。重點(diǎn)突破全自動(dòng)精密貼片機(jī)、大尺寸全自動(dòng)精密印刷機(jī)、全自動(dòng)插裝機(jī)、自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備(AOI)等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,,擴(kuò)大市場(chǎng)占有率。大力支持適應(yīng)無鉛工藝的貼裝設(shè)備(如無鉛再流焊機(jī)、無鉛波峰焊機(jī)等)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。
  新型電子元器件設(shè)備。重點(diǎn)發(fā)展片式元器件、新型綠色電池、高檔磁性材料、新型印制線路板等量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備,高頻頻率器件生產(chǎn)設(shè)備、MEMS生產(chǎn)設(shè)備以及電子專用工模具和高精度模具等。
 ?。ǘ╇娮訙y(cè)量?jī)x器
  加快發(fā)展集成電路和電子基礎(chǔ)測(cè)試儀器。重點(diǎn)發(fā)展高速數(shù)模混合信號(hào)集成電路測(cè)試系統(tǒng)、邊界掃描測(cè)試系統(tǒng)、SoC測(cè)試系統(tǒng)和新型顯示器件參數(shù)測(cè)量?jī)x器、新型電子元器件參數(shù)測(cè)試儀器、印制電路板各類測(cè)試儀器、大功率器件測(cè)試儀器、片式元器件生產(chǎn)線在線測(cè)試儀器系列等。
重點(diǎn)開發(fā)綜合測(cè)試儀、網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)測(cè)試設(shè)備、路測(cè)儀等新一代移動(dòng)通信測(cè)量?jī)x器和測(cè)試系統(tǒng),以及光通信、衛(wèi)星通信測(cè)試儀器和計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)通信測(cè)試儀器等。以音視頻產(chǎn)品由模擬向數(shù)字技術(shù)過渡為契機(jī),重點(diǎn)發(fā)展數(shù)字電視研究開發(fā)、生產(chǎn)用的調(diào)試測(cè)試設(shè)備儀器。積極發(fā)展高性能通用測(cè)試儀器。
  五、政策措施
?。ㄒ唬┲贫鋵?shí)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策
  積極落實(shí)《國(guó)務(wù)院關(guān)于實(shí)施<國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要>若干配套政策》和《關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》,加快制定鼓勵(lì)電子專用設(shè)備和儀器發(fā)展的政策實(shí)施細(xì)則。適時(shí)修訂《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》和《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》,調(diào)整關(guān)稅政策,進(jìn)一步完善相關(guān)政策法規(guī),營(yíng)造良好的市場(chǎng)環(huán)境。
 ?。ǘ┘哟筚Y金扶持力度
  加大國(guó)家投入,支持電子專用設(shè)備和儀器的研究開發(fā)。組織實(shí)施極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝等科技重大專項(xiàng),在國(guó)家年度投資安排中,支持對(duì)結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)升級(jí)有重大影響的設(shè)備和儀器的技術(shù)進(jìn)步項(xiàng)目,在數(shù)字音視頻、移動(dòng)通信、平板顯示器件等國(guó)家專項(xiàng)中重點(diǎn)支持關(guān)鍵設(shè)備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。通過國(guó)家投入帶動(dòng)社會(huì)投資,拓寬融資渠道,推進(jìn)關(guān)鍵設(shè)備和儀器國(guó)產(chǎn)化。
 ?。ㄈ┘哟髧?guó)際合作
  鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)企業(yè)通過國(guó)際合作、并購、參股國(guó)外先進(jìn)的研發(fā)制造企業(yè)等方式掌握關(guān)鍵技術(shù),鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)企業(yè)與國(guó)外企業(yè)廣泛開展聯(lián)合設(shè)計(jì)和制造,通過引進(jìn)消化吸收和再創(chuàng)新,提高對(duì)相關(guān)技術(shù)的掌握能力。引導(dǎo)和鼓勵(lì)跨國(guó)公司在華建立生產(chǎn)、研發(fā)和服務(wù)中心。推動(dòng)設(shè)備和儀器研制和生產(chǎn)過程國(guó)際化,推廣國(guó)際質(zhì)量認(rèn)證模式,提高產(chǎn)品可靠性。
  (四)增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力
  國(guó)家加大對(duì)關(guān)鍵基礎(chǔ)性技術(shù)和原材料研究的支持力度。在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)消化吸收再創(chuàng)新;在推廣現(xiàn)有成果的基礎(chǔ)上,組織關(guān)鍵領(lǐng)域的集成創(chuàng)新,創(chuàng)建一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的知名品牌。確立企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的主體地位,鼓勵(lì)企業(yè)與科研院所、大專院校聯(lián)合進(jìn)行研究開發(fā),加快科技成果的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。鼓勵(lì)產(chǎn)品、工藝開發(fā)企業(yè)和設(shè)備儀器企業(yè)聯(lián)合開展研發(fā)工作,推動(dòng)產(chǎn)用結(jié)合。

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