電容式傳感器溫度穩(wěn)定性好,電容式傳感器的電容的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料;又因為電容器本身的損耗非常小，所以發(fā)熱很小;因此，傳感器具有良好的零點穩(wěn)定性，由于自身發(fā)熱而引起的零漂可以認為是不存在的。

　　電容式傳感器結構簡單、適應性強。電容傳感器的結構簡單，易于制造.易于保證較高的精度;可以做的非常小巧。以實現(xiàn)某些特殊測量;出于不用有機材料和磁性材料，能承受很大的溫度變化和各種輻射及強磁場作用，可以在惡劣環(huán)境中工作;也可以在許多各向同性電介質(zhì)液體中上作。

　　電容式傳感器動態(tài)響應好。電容式傳感器極板間的靜電引力很小，有電磁學理論我們知道，當帶電極板的電位不變時，極板間的靜電引力可以直接得出結果。該傳感器還可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應。例如利用電容式傳感器非接觸測量回轉軸的震動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應?？梢詼p少工件表面粗糙度等對測量的影響。