“磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個重要組成部分，隨著我國磁敏傳感器技術(shù)的發(fā)展，其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會得到進一步發(fā)展和提高，進軍汽車、民用儀表等這些量大面廣的應(yīng)用領(lǐng)域即將實現(xiàn)。國產(chǎn)的電流傳感器、高斯計等產(chǎn)品日前已經(jīng)開始走入國際市場，與國外產(chǎn)品的差距正在快速縮小。”

一、磁敏傳感器的發(fā)展特點

1．集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)應(yīng)用于磁敏傳感器，制成集成磁敏傳感器。

2．InSb薄膜技術(shù)的開發(fā)成功，使得霍爾器件產(chǎn)能劇增，成本大幅度下降。

3．強磁體合金薄膜得到廣泛應(yīng)用。各種磁阻器件出現(xiàn)，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

4．巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度、高穩(wěn)定性，引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。

5．非晶合金材料的應(yīng)用。與基礎(chǔ)器件配套應(yīng)用，大大改善了磁傳感器性能。

6．Ⅲ—V族半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料的開發(fā)和應(yīng)用。通過外延技術(shù)，形成異質(zhì)結(jié)構(gòu)，提高磁敏器件的性能。

二、國外磁敏傳感器的現(xiàn)狀

1．國外磁傳感器的常見種類

就市場占有情況來看，國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。

2．外磁傳感器的代表廠商：

·霍爾元件：日本旭化成；日本東芝；美國Honeywell公司；美國Allogro公司。

·磁阻器件：日本SONY公司；荷蘭PHILIPS公司。

3．國外磁傳感器的應(yīng)用情況

磁敏傳感器應(yīng)用的最大特點是無接觸測量。

·霍爾元件：

磁場測量，做高斯計（特斯拉計）的檢測探頭。

電流檢測，做電流傳感器/變送器的一次元件。

直流無刷電機，用于檢測轉(zhuǎn)子位置并提供激勵信號。

集成開關(guān)型霍爾器件的轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)測量。