&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <br />在物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)中，晶片被放入好幾個小盒中，每次沉積不同的物質(zhì)。SMU-9000-5u傳感器測量系統(tǒng)安裝在沉積盒內(nèi)部（如圖）。每個傳感器測量攜帶晶片進入小盒的末端感應器的位置。 <br />目標： <br />保證半導體晶片在物理氣相沉積（PVD）小盒內(nèi)的精確擺放 <br />避免晶片在小入口處由于沒有對準而導致的破損 <br />保證晶片上的物質(zhì)層均勻沉積 <br />測量系統(tǒng)的優(yōu)勢： <br />非接觸高分辨率：1納米 <br />可重復通用：系統(tǒng)有大量傳感器選件 <br />欲了解更多關于產(chǎn)品的信息，請訪問真尚有公司網(wǎng)站 www.51sensors.com <br />