&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。 <br />主要指標(biāo)： <br />測(cè)量對(duì)象：鋁 <br />量程起點(diǎn)：0.25mm <br />量程：25&micro;m <br />非線性：±1％ <br />分辨率：<25x10^-11M <br />靈敏度：0.4V/&micro;m <br />電源：+12～+30V，15MA/每通道 <br />頻響：0－10KHZ <br />輸出：0-10V <br />溫漂：<0.5&micro;m/℃ <br />欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)真尚有公司網(wǎng)站www.51sensors.com <br /><br />