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ANT-25L/-50L納米精度直線電機(jī)平臺

1.可以組合成X,XY,XYZ及其他組合方式的產(chǎn)品
2.使用Automation3200可以實(shí)現(xiàn)2.5nm的直線分辨率
3.交鑰匙的驅(qū)動和控制系統(tǒng)
4.非接觸，非接頭效應(yīng)，直接驅(qū)動
5.超安靜直線伺服電機(jī)驅(qū)動
6.高速，實(shí)時軸校準(zhǔn)
行程25mm-50mm
精度±0.3um
負(fù)載5.0kg

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