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產(chǎn)品介紹
inficon 375-001 CDG025D 是一款具備溫度補(bǔ)償功能的電容壓力計(jì)，專為在惡劣制造環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量而設(shè)計(jì)。其核心組件采用超純陶瓷傳感器，具備抗腐蝕特性，能在包括大氣壓沖擊在內(nèi)的數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)中保持良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。獨(dú)特的傳感器屏蔽設(shè)計(jì)可減少過(guò)程污染對(duì)測(cè)量的影響，配合堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)與先進(jìn)的數(shù)字電子元件，提升了設(shè)備的電磁兼容性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性及溫度補(bǔ)償效果。該壓力計(jì)在開(kāi)機(jī)后能快速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，且從大氣壓暴露中恢復(fù)的速度較快，適應(yīng)工業(yè)場(chǎng)景中頻繁啟?；驂毫Σ▌?dòng)的情況。
功能特點(diǎn)
該壓力計(jì)的全量程為 1000 Torr，可滿足中高壓力范圍的測(cè)量需求。憑借溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì)，其在不同溫度環(huán)境下的測(cè)量精度得以保障，減少了溫度變化對(duì)結(jié)果的影響。設(shè)備配備一鍵調(diào)零功能，操作簡(jiǎn)便，便于用戶快速校準(zhǔn)零點(diǎn)，確保測(cè)量基準(zhǔn)的準(zhǔn)確性。數(shù)字電子元件的應(yīng)用不僅優(yōu)化了整體性能，還增強(qiáng)了設(shè)備對(duì)電磁干擾的抵抗能力，適合在復(fù)雜的工業(yè)電磁環(huán)境中使用。抗腐蝕的陶瓷傳感器與防污染設(shè)計(jì)，使其能在存在腐蝕性介質(zhì)或粉塵的環(huán)境中保持穩(wěn)定運(yùn)行，降低因污染導(dǎo)致的性能衰減風(fēng)險(xiǎn)。此外，其寬范圍電源供應(yīng)設(shè)計(jì)提升了在不同供電條件下的適用性，為多樣化的工業(yè)場(chǎng)景提供支持。
選型指南
選型時(shí)，首先需明確所需的壓力測(cè)量范圍。inficon 375-001 CDG025D 的全量程為 1000 Torr，若實(shí)際應(yīng)用中壓力范圍與此不符，可參考同系列其他型號(hào)，選擇更貼合需求的量程（如 100 Torr、10 Torr 等）。其次，需根據(jù)設(shè)備連接需求選擇法蘭類型，該型號(hào)采用 DN 16 ISO-KF 法蘭，若系統(tǒng)接口為 1/2 英寸管、DN 16 CF-R 或 8 VCR，則需對(duì)應(yīng)選擇同系列中其他法蘭類型的型號(hào)。
技術(shù)參數(shù)
inficon 375-001 CDG025D 的全量程為 1000 Torr，對(duì)應(yīng) 1333 mbar（133322 Pascal）。設(shè)備具備溫度補(bǔ)償功能，能在一定溫度范圍內(nèi)減少環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。在 25℃環(huán)境溫度下，經(jīng)過(guò)兩小時(shí)運(yùn)行后，其非線性、滯后性和重復(fù)性誤差控制在一定范圍內(nèi)，確保測(cè)量精度。設(shè)備采用 DN 16 ISO-KF 法蘭接口，適應(yīng)相應(yīng)的管路連接需求。寬范圍電源供應(yīng)設(shè)計(jì)使其能在不同供電條件下穩(wěn)定工作，數(shù)字電子元件的集成提升了整體運(yùn)行的穩(wěn)定性與抗干擾能力。
產(chǎn)品尺寸
該壓力計(jì)的尺寸設(shè)計(jì)兼顧了測(cè)量性能與安裝便利性，整體結(jié)構(gòu)緊湊，適合在空間有限的工業(yè)設(shè)備中安裝。
應(yīng)用領(lǐng)域

inficon 375-001 CDG025D 電容壓力計(jì)適用于多種工業(yè)場(chǎng)景的壓力測(cè)量。在半導(dǎo)體制造中，可用于刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）等設(shè)備的壓力監(jiān)測(cè)；在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與顯示設(shè)備制造過(guò)程中，為相關(guān)真空環(huán)節(jié)提供壓力測(cè)量支持；同時(shí)，也可應(yīng)用于工業(yè)真空設(shè)備及其他需要高精度壓力測(cè)量的場(chǎng)景，為生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定運(yùn)行提供數(shù)據(jù)依據(jù)。