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產(chǎn)品介紹
inficon 398-483 VGC503 是一款三通道真空壓力表控制器，主要用于與 INFICON 系列真空計(jì)配合，實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)測(cè)點(diǎn)的總壓力測(cè)量與控制。其設(shè)計(jì)適配多種真空計(jì)類(lèi)型，包括皮拉尼真空計(jì)（PSG 系列）、皮拉尼 / 電容真空計(jì)（PCG 系列）、冷陰極真空計(jì)（PEG、MAG 系列）等，可滿足不同真空環(huán)境下的測(cè)量需求。
設(shè)備采用數(shù)字電子元件，具備參數(shù)設(shè)置、數(shù)據(jù)記錄、報(bào)警閾值調(diào)節(jié)等功能，支持通過(guò) USB 接口（Type A 和 Type B）、以太網(wǎng)接口與計(jì)算機(jī)或其他系統(tǒng)連接，便于數(shù)據(jù)傳輸與遠(yuǎn)程控制。其前面板配備顯示屏和操作按鍵，可直觀顯示各通道的壓力值、狀態(tài)信息，并支持手動(dòng)調(diào)節(jié)參數(shù)，操作便捷。
此外，設(shè)備支持固件更新，可通過(guò) USB 存儲(chǔ)器或?qū)Ｓ霉ぞ哌M(jìn)行升級(jí)，以適應(yīng)新的真空計(jì)類(lèi)型或功能優(yōu)化需求。
功能特點(diǎn)
inficon 398-483 VGC503 的核心功能是實(shí)現(xiàn)三通道獨(dú)立的壓力監(jiān)測(cè)與控制。每個(gè)通道可單獨(dú)配置參數(shù)，包括測(cè)量單位（mbar、Torr、Pa 等）、濾波時(shí)間、報(bào)警閾值等，滿足不同測(cè)點(diǎn)的個(gè)性化需求。
設(shè)備具備數(shù)據(jù)記錄功能，可將測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在 USB 存儲(chǔ)器中，記錄間隔可設(shè)置（如 1 秒、10 秒、1 分鐘等），便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析。同時(shí)，支持多種通信接口，USB Type A 可連接存儲(chǔ)器實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)導(dǎo)出或參數(shù)導(dǎo)入，USB Type B 和以太網(wǎng)接口可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)的雙向通信，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與控制。
其內(nèi)置報(bào)警功能可根據(jù)預(yù)設(shè)閾值觸發(fā)繼電器動(dòng)作，報(bào)警閾值可靈活設(shè)置，且支持多種報(bào)警邏輯（如壓力高于上限、低于下限），為系統(tǒng)安全提供保障。此外，設(shè)備具備自我診斷功能，可監(jiān)測(cè)傳感器連接狀態(tài)、內(nèi)部電路故障等，并通過(guò)顯示屏提示錯(cuò)誤信息，便于維護(hù)。
選型指南
選型時(shí)，首先需確認(rèn)測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，VGC503 為三通道控制器，適合需要同時(shí)監(jiān)測(cè) 3 個(gè)位置壓力的場(chǎng)景，若僅需 1 個(gè)或 2 個(gè)通道，可選擇同系列的 VGC501（單通道）或 VGC502（兩通道）。
其次，需考慮適配的真空計(jì)類(lèi)型，該控制器兼容 INFICON 的多種真空計(jì)（如 PSG、PCG、PEG 等），需根據(jù)實(shí)際使用的真空計(jì)型號(hào)確認(rèn)兼容性。
接口需求也是選型的重要因素，若需要遠(yuǎn)程控制或數(shù)據(jù)傳輸，可優(yōu)先考慮其以太網(wǎng)接口功能；若需本地存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，需確保配備 USB 存儲(chǔ)器。
此外，需關(guān)注使用環(huán)境條件，設(shè)備的工作環(huán)境溫度為 0-70℃，相對(duì)濕度≤80%（31℃以下），若環(huán)境超出此范圍，需采取額外的防護(hù)措施。
技術(shù)參數(shù)
電源供應(yīng)：100-240V AC，頻率 50-60Hz，電壓允許波動(dòng)范圍 ±10%；
工作電流：最大 90W；
通道數(shù)量：3 個(gè)獨(dú)立通道，每個(gè)通道支持連接 1 個(gè)真空計(jì)；
兼容真空計(jì)類(lèi)型：PSG、PCG、PEG、MAG、MPG、BPG、HPG、BCG、CDG 等系列；
通信接口：USB Type A（前端，用于連接存儲(chǔ)器）、USB Type B（后端，用于連接計(jì)算機(jī)）、以太網(wǎng)接口（后端）；
環(huán)境溫度：0-70℃；
相對(duì)濕度：≤80%（31℃以下），50%（40℃）；
防護(hù)等級(jí)：IP30；
安裝方式：可安裝于 19 英寸機(jī)架、控制面板或作為桌面設(shè)備使用；
顯示分辨率：支持 1-4 位數(shù)字顯示，可自動(dòng)適配壓力值范圍。
產(chǎn)品尺寸
inficon 398-483 VGC503 的外形尺寸為：長(zhǎng)度 285mm，寬度 106.3mm，高度 203.5mm（不含安裝配件）。安裝于 19 英寸機(jī)架時(shí)，需配合機(jī)架適配器，適配器高度符合 DIN 41494 標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備重量約 1.14kg，適合在有限空間內(nèi)安裝。具體尺寸可參考官方提供的安裝圖紙，以確保與周邊設(shè)備的空間適配。
應(yīng)用領(lǐng)域
inficon 398-483 VGC503 廣泛應(yīng)用于需要多測(cè)點(diǎn)真空監(jiān)測(cè)的工業(yè)場(chǎng)景。在半導(dǎo)體制造中，可用于蝕刻（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等設(shè)備的真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)；在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與顯示設(shè)備制造中，支持薄膜沉積、濺射等工藝的壓力控制；在工業(yè)真空設(shè)備中，如真空干燥機(jī)、真空爐等，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域壓力監(jiān)測(cè)與調(diào)節(jié)。