韓美聯(lián)合科研組 成功研發(fā)3D集成電路技術(shù)
韓國媒體稱,韓美兩國聯(lián)合科研組成功開發(fā)了將半導(dǎo)體電路堆疊使半導(dǎo)體集成度得到提高,且減少批量生產(chǎn)成本的三維集成電路(3D-IC)商用化技術(shù)。
納米綜合Fab中心、美國風(fēng)險企業(yè)BeSang和斯坦福納米Fab(SNF)11日下午在首爾洲際大酒店召開記者會表示,通過三維單一芯片集成電路,開發(fā)了可代替互補性氧化金屬半導(dǎo)體(CMOS)技術(shù)的3D-IC商用化技術(shù)。
在平面硅板形成電路的二維半導(dǎo)體,因小型化所致的成本上升及技術(shù)問題等,無法進一步實現(xiàn)小型化,因此半導(dǎo)體業(yè)界一直在研究三維半導(dǎo)體技術(shù)。
但三維半導(dǎo)體制造技術(shù),需要高溫制造環(huán)境,且半導(dǎo)體層之間易出現(xiàn)缺陷,因此至今未能實現(xiàn)商用化。
但韓美研究組以180納米技術(shù)和8英寸硅半導(dǎo)體晶片,在400攝氏度以下低溫環(huán)境形成了三維集成電路。
研究組當(dāng)天公開了利用新技術(shù)在180納米級8英寸硅晶片堆疊1.28億個立式半導(dǎo)體器件(兩層)的三位集成電路。
納米綜合Fab中心表示:“3D-IC技術(shù)形成立式半導(dǎo)體電路,這不僅提高單位面積上的集成度,還進行了堆疊,使集成度達到普通半導(dǎo)體的數(shù)十倍?!?
該中心還表示:“此項技術(shù)將徹底改變截至目前的二維半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)體系,它不僅能夠顯著降低半導(dǎo)體生產(chǎn)成本,還將影響未來的幾代技術(shù)?!?/FONT>
納米綜合Fab中心、美國風(fēng)險企業(yè)BeSang和斯坦福納米Fab(SNF)11日下午在首爾洲際大酒店召開記者會表示,通過三維單一芯片集成電路,開發(fā)了可代替互補性氧化金屬半導(dǎo)體(CMOS)技術(shù)的3D-IC商用化技術(shù)。
在平面硅板形成電路的二維半導(dǎo)體,因小型化所致的成本上升及技術(shù)問題等,無法進一步實現(xiàn)小型化,因此半導(dǎo)體業(yè)界一直在研究三維半導(dǎo)體技術(shù)。
但三維半導(dǎo)體制造技術(shù),需要高溫制造環(huán)境,且半導(dǎo)體層之間易出現(xiàn)缺陷,因此至今未能實現(xiàn)商用化。
但韓美研究組以180納米技術(shù)和8英寸硅半導(dǎo)體晶片,在400攝氏度以下低溫環(huán)境形成了三維集成電路。
研究組當(dāng)天公開了利用新技術(shù)在180納米級8英寸硅晶片堆疊1.28億個立式半導(dǎo)體器件(兩層)的三位集成電路。
納米綜合Fab中心表示:“3D-IC技術(shù)形成立式半導(dǎo)體電路,這不僅提高單位面積上的集成度,還進行了堆疊,使集成度達到普通半導(dǎo)體的數(shù)十倍?!?
該中心還表示:“此項技術(shù)將徹底改變截至目前的二維半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)體系,它不僅能夠顯著降低半導(dǎo)體生產(chǎn)成本,還將影響未來的幾代技術(shù)?!?/FONT>
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