國內(nèi)首臺自主產(chǎn)權(quán)“光刻機(jī)”在合肥問世
國內(nèi)首臺具有世界領(lǐng)先水平、擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的直寫式光刻機(jī)昨日在合肥面世，標(biāo)志著我國亞微米級光刻機(jī)完全依賴進(jìn)口的局面將被打破。
光刻機(jī)是生產(chǎn)電子芯片的最關(guān)鍵設(shè)備之一，電子芯片內(nèi)的電路圖案都是由光刻機(jī)產(chǎn)生的。中國是全球集成電路的最大消耗國，據(jù)統(tǒng)計(jì)所用集成電路占全球的24%以上，但是國產(chǎn)集成電路國內(nèi)市場自給率卻少于10%，因此，光刻機(jī)被國家“十一五”發(fā)展規(guī)劃明確定義為重點(diǎn)制造裝備。據(jù)了解，合肥生產(chǎn)的直寫式光刻機(jī)分辨率達(dá)到亞微米級，與目前國際上同類產(chǎn)品相比，已經(jīng)達(dá)到了世界領(lǐng)先水平,可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、生物、醫(yī)藥、光電、太陽能電池、新能源及薄膜電路等不同領(lǐng)域。開發(fā)該產(chǎn)品的芯碩半導(dǎo)體(中國)有限公司將進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)，一期工程將于明年9月份正式完工。
光刻機(jī)是生產(chǎn)電子芯片的最關(guān)鍵設(shè)備之一，電子芯片內(nèi)的電路圖案都是由光刻機(jī)產(chǎn)生的。中國是全球集成電路的最大消耗國，據(jù)統(tǒng)計(jì)所用集成電路占全球的24%以上，但是國產(chǎn)集成電路國內(nèi)市場自給率卻少于10%，因此，光刻機(jī)被國家“十一五”發(fā)展規(guī)劃明確定義為重點(diǎn)制造裝備。據(jù)了解，合肥生產(chǎn)的直寫式光刻機(jī)分辨率達(dá)到亞微米級，與目前國際上同類產(chǎn)品相比，已經(jīng)達(dá)到了世界領(lǐng)先水平,可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、生物、醫(yī)藥、光電、太陽能電池、新能源及薄膜電路等不同領(lǐng)域。開發(fā)該產(chǎn)品的芯碩半導(dǎo)體(中國)有限公司將進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)，一期工程將于明年9月份正式完工。
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