隨著先進制造技術、現(xiàn)代設計技術和微電子技術的發(fā)展以及新型功能材料的應用，研究和開發(fā)具有高頻響應的電液伺服閥成為現(xiàn)實，出現(xiàn)了以新型功能材料為基礎的新型驅(qū)動器技術和以創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設計為基礎的新型驅(qū)動結(jié)構(gòu)，奠定了現(xiàn)代電液伺服控制技術發(fā)展的基礎。

以新型功能材料為基礎的電液伺服閥驅(qū)動及控制技術是目前提高電液伺服閥整體性能的主要技術手段，也是當前研究的熱點和焦點。目前，已獲得應用的新型功能材料主要有壓電陶瓷材料（ PZT） 、電致伸縮材料（ PMN ） 、超磁致伸縮材料（GMM ） 、形狀記憶合金（ SMA ） 、電流變流體（ ERF） 等，它們都具有高頻響、高精度及大輸出力等優(yōu)異性能，在流體控制元件上都有一定的研究和應用報道 。其中，PZT和PMN都是電介質(zhì)，在一定電場作用下都能產(chǎn)生軸向機械應變，應變大小均與外加電場有關，但PZT存在嚴重的磁滯現(xiàn)象，應用于伺服閥時主要以PMN為主。SMA是通過采用通電加熱和強制冷卻的方法來驅(qū)動執(zhí)行器運動，雖然變形量較大，但響應速度較慢，變形不連續(xù)，從而限制了其應用范圍。

ERF是直接通過電場來改變ERF的粘度來實現(xiàn)無移動件驅(qū)動，響應快，穩(wěn)定性好，但目前的ERF的性能還不能完全滿足工程應用的要求，在伺服閥上的應用還僅處于研究和探討階段。目前，在電液伺服閥上研究和應用比較多的是壓電陶瓷（ PZT） 、電致伸縮材料（ PMN） 和超磁致伸縮材料（ GMM） ,它們都有著比較成熟和廣泛的報道。特別是GMM還具有壓磁效應- 逆磁致伸縮效應，可以做成傳感器。將傳感和致動功能通過計算機有機的結(jié)合起來，可制成具有傳感和執(zhí)行功能的自傳感驅(qū)動器，以達到無傳感器閉環(huán)控制和同位控制、提高系統(tǒng)響應速度和控制精度、增強系統(tǒng)可靠性、簡化系統(tǒng)和降低成本等目的，是目前智能材料和結(jié)構(gòu)領域致力發(fā)展的一個新方向。