陳光桃 中達(dá)電通成都分公司

摘要：本文主要描述了臺達(dá)電源在光刻機(jī)上的良好應(yīng)用。光刻機(jī)由于嚴(yán)格的使用環(huán)境及對電源性能的特殊要求，使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機(jī)在使用臺達(dá)電源后，完全達(dá)到了設(shè)備的設(shè)計(jì)要求，也將臺達(dá)電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。

關(guān)鍵字：臺達(dá) 導(dǎo)軌式 電源 光刻機(jī)

引言：在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天，工業(yè)設(shè)備的精密度不斷得到提高，與此同時最終用戶對產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度，這就給設(shè)備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。而在電源的使用上目前工業(yè)設(shè)備在低壓電源方面使用上有平板和導(dǎo)軌兩種安裝方式，而兩種不同的安裝方式也對應(yīng)不同的性能指標(biāo)。導(dǎo)軌式電源優(yōu)異的性能，與生具來的導(dǎo)軌緊湊式安裝方式，也越來越得到各個設(shè)備廠家的青睞！臺達(dá)導(dǎo)軌式電源也應(yīng)運(yùn)而生，滿足了廣大用戶的要求。

激光標(biāo)刻機(jī)的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊，主要為免維護(hù)的OEM應(yīng)用面設(shè)計(jì)。YLM二極管泵浦光纖激光通過一條帶有金屬護(hù)套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為1.07微米，接近衍射極限（M²＜1.05）高質(zhì)量激光束，高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護(hù)套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長的激光，激光在傳輸過程中不斷被放大后擴(kuò)束輸出。擴(kuò)束后的激光束投射到振鏡掃描器上，通過計(jì)算機(jī)控制振鏡快速轉(zhuǎn)動及激光的開關(guān)，使激光束在X、Y方向掃描，通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬間燒蝕，最后在件表面形成需要的各種圖形符號。

1、整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，與進(jìn)口貼片分選設(shè)備充分兼容，接口直接配合、簡單易用。

2、基礎(chǔ)配置，采用進(jìn)口Fiber（光纖）小功率風(fēng)冷激光器，高速振鏡掃描系統(tǒng)，打印準(zhǔn)確精致。

3、激光打印系統(tǒng)控制核心，Laser Marking System購筑在Windows XP平臺上，控制軟件采用SCAPS軟件，控制卡采用高速USB2.0控制輸入，性能卓越穩(wěn)定，使用操作簡便，并可根據(jù)客戶的需求，隨時升級程序。

4、根據(jù)客戶需求，可實(shí)現(xiàn)脫機(jī)運(yùn)行操控，一臺電腦主機(jī)操作多臺激光打印終端，標(biāo)刻終端由PDA操控。

5、國內(nèi)首創(chuàng)，更小巧，更靈活。

6、直接編輯印章和同時打印多種規(guī)格印章，自動記數(shù)功能，隨意設(shè)置標(biāo)刻數(shù)量及統(tǒng)計(jì)所標(biāo)記管子總數(shù)，設(shè)置數(shù)值高達(dá)十億位數(shù)。

1、電壓要求

光刻設(shè)備工作電壓為直流28V，臺達(dá)最大輸出直流電壓為28V，完全符合使用要求。

2、使用方式要求

需要有正負(fù)28V電源輸出，第一個電源正端與第二個電源的負(fù)端共地使用，而且兩個輸出相互之間不能互擾。

3、電源體積要求

由于設(shè)備整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小的要求，所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧，不占用更多的空間。臺達(dá)電源采用導(dǎo)軌式，呈扁平型，尺寸為：126x32x113，安裝占用空間非常小，得到設(shè)備廠家和最終用戶的一致認(rèn)可。

4、電源穩(wěn)定度要求

由于光刻機(jī)激光光束需要高可靠性的直流電源，所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴(yán)格。臺達(dá)電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV，波峰切換(20MHz) (在正常值) < 240 mVpp，體現(xiàn)了良好的輸出特性。

5、電磁干擾

由于激光雕刻機(jī)是一個精密的設(shè)備，其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度，也就直接影響光刻效果，所以其電磁防護(hù)等級要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾，以免輸出電壓精度不高，同時自身也不能夠產(chǎn)生干擾，以免干擾其他設(shè)備的正常工作。臺達(dá)電源通過了EMC及防干擾認(rèn)證，很好的保證了現(xiàn)場使用的要求。

綜上所述，雖然光刻機(jī)設(shè)備對電源的使用提出了十分高的要求，但是臺達(dá)電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實(shí)際過程中遇到的各種難題，把各種任務(wù)完成得非常的漂亮，由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽(yù)！當(dāng)然，良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫，臺達(dá)電源有此卓越的表現(xiàn)，也是源于臺達(dá)電源有很多優(yōu)異的硬件指標(biāo)參數(shù)和特點(diǎn)，下面列出了臺達(dá)的基本參數(shù)及特點(diǎn)。

1、基本參數(shù)

2、特點(diǎn)

全球適用 AC輸入電源

保護(hù)特性：短路／過載／過壓／內(nèi)部電涌

空氣冷卻

可安裝 DIN 標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)軌 TS-35/7.5或15

絕緣等級 I

高效率 >86%

100%滿負(fù)荷燒機(jī)測試

連接器方向設(shè)定易于識別輸入和輸出連接器

連接器類型方便連接電纜和易維修

全鋁合金 (AL5052) 或塑料外殼符合IEC60068-2 規(guī)格。

經(jīng)得起高沖擊和震動環(huán)境。

高附加價(jià)值（高功能與價(jià)格比例）

國際安全標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證

符合RoHS規(guī)格

易安裝

三年保質(zhì)期

國內(nèi)市場電子設(shè)備行業(yè)的飛速發(fā)展，以及技術(shù)不斷的洗舊革新，無非是要提高設(shè)備的效率與穩(wěn)定性，設(shè)備的穩(wěn)定性源于高可靠性的器件。而設(shè)備供電電源是設(shè)備非常重要的一個環(huán)節(jié)，因而對電源的性能勢必提出了更高的要求。如寬輸入出電壓范圍，良好的保護(hù)功能等等功能需求會顯得越來越迫切，臺達(dá)低壓電源源于臺達(dá)集團(tuán)優(yōu)秀的電源技術(shù)開發(fā)能力、優(yōu)異的品質(zhì)與良好的電源世界第一品牌形象，響應(yīng)了市場日異變化的需求，抓住了市場商機(jī)，也使得用戶在電源的選擇上更加能夠得心應(yīng)手，推陳出新！臺達(dá)電源，真是在方寸之間彰顯精彩！