摘 要：本文主要描述了臺達電源在光刻機上的良好應用。光刻機由于嚴格的使用環(huán)境及對電源性能的特殊要求，使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機在使用臺達電源后，完全達到了設備的設計要求，也將臺達電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。

關鍵字：臺達 導軌式 電源 光刻機

　　引言：在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天，工業(yè)設備的精密度不斷得到提高，與此同時最終用戶對產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度，這就給設備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。而在電源的使用上目前工業(yè)設備在低壓電源方面使用上有平板和導軌兩種安裝方式，而兩種不同的安裝方式也對應不同的性能指標。導軌式電源優(yōu)異的性能，與生具來的導軌緊湊式安裝方式，也越來越得到各個設備廠家的青睞!臺達導軌式電源也應運而生，滿足了廣大用戶的要求。

一、光刻機設備介紹

　　激光標刻機的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊，主要為免維護的OEM應用面設計。YLM二極管泵浦光纖激光通過一條帶有金屬護套的單模光纖傳導光束直徑為1.07微米，接近衍射極限（M2<1.05）高質(zhì)量激光束，高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長的激光，激光在傳輸過程中不斷被放大后擴束輸出。擴束后的激光束投射到振鏡掃描器上，通過計算機控制振鏡快速轉(zhuǎn)動及激光的開關，使激光束在X、Y方向掃描，通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬間燒蝕，最后在件表面形成需要的各種圖形符號。

　　1、整機結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，與進口貼片分選設備充分兼容，接口直接配合、簡單易用。

　　2、基礎配置，采用進口Fiber（光纖）小功率風冷激光器，高速振鏡掃描系統(tǒng)，打印準確精致。

　　3、激光打印系統(tǒng)控制核心，Laser Marking System購筑在Windows XP平臺上，控制軟件采用SCAPS軟件，控制卡采用高速USB2.0控制輸入，性能卓越穩(wěn)定，使用操作簡便，并可根據(jù)客戶的需求，隨時升級程序。

　　4、根據(jù)客戶需求，可實現(xiàn)脫機運行操控，一臺電腦主機操作多臺激光打印終端，標刻終端由PDA操控。

　　5、國內(nèi)首創(chuàng)，更小巧，更靈活。

　　6、直接編輯印章和同時打印多種規(guī)格印章，自動記數(shù)功能，隨意設置標刻數(shù)量及統(tǒng)計所標記管子總數(shù)，設置數(shù)值高達十億位數(shù)。

二、臺達電源在光刻機上成功應用

　　1、電壓要求

　　光刻設備工作電壓為直流28V，臺達最大輸出直流電壓為28V，完全符合使用要求。

　　2、使用方式要求

　　需要有正負28V電源輸出，第一個電源正端與第二個電源的負端共地使用，而且兩個輸出相互之間不能互擾。

　　3、電源體積要求

　　由于設備整機結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小的要求，所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧，不占用更多的空間。臺達電源采用導軌式，呈扁平型，尺寸為：126x32x113，安裝占用空間非常小，得到設備廠家和最終用戶的一致認可。

　　4、電源穩(wěn)定度要求

　　由于光刻機激光光束需要高可靠性的直流電源，所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴格。臺達電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV，波峰切換（20MHz） （在正常值） < 240 mVpp，體現(xiàn)了良好的輸出特性。

　　5、電磁干擾

　　由于激光雕刻機是一個精密的設備，其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度，也就直接影響光刻效果，所以其電磁防護等級要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾，以免輸出電壓精度不高，同時自身也不能夠產(chǎn)生干擾，以免干擾其他設備的正常工作。臺達電源通過了EMC及防干擾認證，很好的保證了現(xiàn)場使用的要求。

　　綜上所述，雖然光刻機設備對電源的使用提出了十分高的要求，但是臺達電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實際過程中遇到的各種難題，把各種任務完成得非常的漂亮，由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽!當然，良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫，臺達電源有此卓越的表現(xiàn)，也是源于臺達電源有很多優(yōu)異的硬件指標參數(shù)和特點，下面列出了臺達的基本參數(shù)及特點。

三、臺達導軌式基本參數(shù)及特點

　　1、基本參數(shù)

　　2、特點

　　全球適用 AC輸入電源
　　保護特性：短路/過載/過壓/內(nèi)部電涌
　　空氣冷卻
　　可安裝 DIN 標準導軌 TS-35/7.5或15
　　絕緣等級 I
　　高效率 >86%
　　100%滿負荷燒機測試
　　連接器方向設定易于識別輸入和輸出連接器
　　連接器類型方便連接電纜和易維修
　　全鋁合金 （AL5052） 或塑料外殼符合IEC60068-2 規(guī)格。
　　經(jīng)得起高沖擊和震動環(huán)境。
　　高附加價值（高功能與價格比例）
　　國際安全標準認證
　　符合RoHS規(guī)格
　　易安裝
　　三年保質(zhì)期

四、結(jié)束語

　　國內(nèi)市場電子設備行業(yè)的飛速發(fā)展，以及技術不斷的洗舊革新，無非是要提高設備的效率與穩(wěn)定性，設備的穩(wěn)定性源于高可靠性的器件。而設備供電電源是設備非常重要的一個環(huán)節(jié)，因而對電源的性能勢必提出了更高的要求。如寬輸入出電壓范圍，良好的保護功能等等功能需求會顯得越來越迫切，臺達低壓電源源于臺達集團優(yōu)秀的電源技術開發(fā)能力、優(yōu)異的品質(zhì)與良好的電源世界第一品牌形象，響應了市場日異變化的需求，抓住了市場商機，也使得用戶在電源的選擇上更加能夠得心應手，推陳出新!臺達電源，真是在方寸之間彰顯精彩!